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扫描电镜样品台对于样品要满足哪些要求?

时间:2021-09-07 点击次数:20
   扫描电镜样品台可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像,扫描电镜有较高的放大倍数且连续可调,是当今十分有用的科学研究仪器。对于它试验的样品来说有哪些要求呢?
  1.形态必须耐高真空
  如有些含水量很大的细胞,在真空中很快被抽干水分,细胞的形态也发生了改变,无法对各类型细胞进行区分。
  2.样品表面不能含有有机油脂类污染物
  油污在电子束作用下易分解成碳氢化物,对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖;碳氢化合物降低了成像信号产量;碳氢化合物吸附在电子束光路引起极大象散;碳氢化合物被吸附在探测器晶体表面,降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。
  3.样品必须干燥
  水蒸气会加速电子枪阴极材料的挥发,从而极大降低灯丝寿命;水蒸气会散射电子束,增加电子束能量分散,从而增大色差,降低分辨能力。
  4.样品表面可导电
  大多数情况下,初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和,因此多余的电子必须导入地下,即样品表面电位必须保持在0电位。如果样品表面不导电,或者样品接地线断裂,那么样品表面静电荷存在,使得表面负电势不断增加,出现充电效应,使图像畸变,入射电子束减速,此时样品如同一个电子平面镜。对不导电的样品,建议采用离子溅射镀膜机喷镀金属,这样可显著提高扫描电子显微镜所观察图像的质量。
  5.特殊样品制备考虑因素
  扫描电镜一般不建议观测磁性材料,如果一定要观测此类物质,则建议对材料首先进行退磁。如果要检测观察弱反差机理,就必须消除强反差机理,否则很难检测到弱的反差。当希望背散射电子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差机理时,磁性材料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光,电解抛光等,以使样品产生一个几乎消除形貌的镜面。

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