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扫描电镜标样中二次电子代表什么意思?

时间:2021-10-09 点击次数:111
   从原理上讲,扫描电镜的照明体系与透射电镜中的类似。但不一样的是扫描电镜标样有一些独特需求,例如经聚光镜作用后抵达样品处的电子束应是直径很细的电子探针;电子束能作扫描运动;末级聚光镜的计划应便于信号的搜集等。
  扫描电子镜电子枪的高压不及透射电子显微镜中那样高,一般设定在1-50kv。电子枪的阴极可所以热钨丝型的,但近年来已更多选用阴极,有些电镜上选用场发射枪,乃至肖特基热场发射枪。以热钨丝阴极为例,在前述加快电压下电子发射所构成的光源最小的直径。为了包管较好的分辨率,有必要将它们经聚光镜多级减少,在样品外表处构成直径为1-10nm的电子探针。有些作业如电子探针微区成分剖析,需求束流要高,扫描电镜中的聚光体系常由三级电子透镜组成,但它与进射电镜中坐落物样下方的物镜是不一样的。
  扫描电镜中所提到的二次电子是指背入射电子轰击出来的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小,当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后,可脱离原子成为自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处,那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出,变成真空中的自由电子,即二次电子。
  二次电子来自表面5-10nm的区域,能量为0-50eV。它对试样表面状态非常敏感,能有效地显示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层,入射电子还没有被多次反射,因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没有多大区别,所以二次电子的分辨率较高,一般可达到5-10nm。扫描电镜的分辨率一般就是二次电子分辨率。
  二次电子产额随原子序数的变化不大,它主要取决与表面形貌。

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