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认识下探针在半导体测试行业的重要性

发表时间:2022-11-04  |  访问量:24
   探针是一种采用钨或钨合金制成的细长状的钨制品,具有耐高温、硬度高、导电性好等优点,可充当电极材料用于氩弧焊技术中,也可做仪器的探针使用,还可用作解剖针。
  探针采用高纯钨、铼等原材料,特殊的生产工艺,确保钨铼合金具有较高的均匀性与致密度,生产的探针在导电率、弹性模量、耐用性、力学强度等可满足需求。可根据要求定制针尖形状,有尖锐、平台、圆弧等形状,范围从微米到纳米级。
  钨探针主要用于半导体的终测试阶段。用来连接芯片和测试板的钨探针是影响接触和电气特性的一个重要因素。通俗来说,探测钨针的存在是为了识别良品和不良品。钨探针通常被安装在探针卡或探针台上。它被制成具有精细的尖形状。这是为了让它在与芯片接触时不对芯片电极本身造成损伤。
  半导体测试探针要求材料具有高纯度和高精度,可以是采用铼钨合金打造而成的合金探针,也可以是采用纯钨打造的纯钨探针。其中,铼钨合金的接触电阻比钨稍高而抗疲劳性相似。相对于纯钨来说,铼钨合金的晶格结构更加紧密,因此铼钨探针顶端的平面更加光滑。这意味着铼钨探针的顶端被污染的可能性更小,更容易清洁,其接触电阻也比钨更加稳定。
  当然,在半导体测试中,探针的其他参数也会影响到测试结果,如针尖的直径与形状、触点压力以及探针台的平整度等。因此钨探针也经常采用高纯钨打造而成,且具有超细针尖,表面光滑无伤,光洁度能达到Ra0.25以上。
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