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镀膜仪的几大常见镀膜方式分享

更新时间:2023-06-08  |  访问量:376
   镀膜仪是一款多功能型高真空镀膜系统,用于制备超薄,细颗粒的导电金属膜和碳膜,以适用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的镀膜要求。这一款全自动台式镀膜仪,包含内置式无油真空系统、石英膜厚监控系统和马达驱动样品台。
  镀膜仪常见的几个真空镀膜方式如下:
  1.磁控溅射镀膜
  磁控溅射是一种常用的真空镀膜技术,它利用磁场将靶材料离子化并沉积在基底表面上。这种技术可用于制备金属、合金、氧化物、硝化物等多种材料的薄膜。该技术具有高沉积速率、较好的均匀性和附着力等优点。
  2.热蒸发镀膜
  热蒸发是一种常用的真空镀膜方法,它通过加热固态材料使之升华并沉积在基底表面。这种方法适用于制备高纯度金属、合金、无机化合物、有机材料等各种薄膜。该技术具有沉积速率快、成本低廉等优点,但对材料的熔点、压力等参数要求较高。
  3.电弧离子镀膜
  电弧离子镀膜是一种真空镀膜技术,它利用高能电弧放电将靶材料离子化并沉积在基底表面上。该技术适合于制备金属、合金等各种金属材料的薄膜。这种方法具有沉积速率快、附着力好等优点,但需要较高的操作技能和设备成本。
  4.化学气相沉积(CVD)镀膜
  化学气相沉积是一种真空镀膜技术,它利用气态前体分解反应在基底表面上形成薄膜。该技术适用于制备无机、有机材料以及复合材料等各种类型的薄膜。该方法具有沉积速率较快、成膜温度低、均匀性好等优点,但对前体气体质量、反应条件等参数要求较高。
  综上,不同的真空镀膜方式适用于不同类型的材料和应用需求。在选择镀膜方式时,还需考虑诸如成本、工艺难易度、沉积速率、膜质量等因素。
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