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镀膜仪的一般故障处理方式解析

发表时间:2022-09-08  |  访问量:27
   在利用扫描电镜分析非导电样品时,因为样品的不导电性,会在样品表面累积电离子,因此在成像过程中会产生大量的放电现象,严重影响图像质量。因此在观察非导体时一般都要事先用镀膜仪在试样表面上蒸涂(沉积)一层重金属导电膜,这样既可以消除试样荷电现象,又可以增加试样表面导电导热性,减少电子束造成的试样(如高分子及生物试样)损伤、提高二次电子发射率。
  镀膜仪当接通高压,阴极发射电子,电子能量增加到1-3kev,轰击低真空中(3-10pA)的气体,使其电离,激发出的电子在电场中被加速,继续轰击气体,产生联级电离,形成等离子体。离子以1-3kev的能量轰击阴极靶,当其能量高于靶材原子的结合能时,靶材原子或者原子簇,脱离靶材,又经过与等离子体中的残余气体碰撞,因此方向各异,当落在样品表面时,可以在粗糙的样品表面形成厚度均一的金属薄膜,而且与样品的结合强度高。如果工作室中的气体持续流动,保持恒定压力,这时的离子流保持恒定。高压的功率决定了大离子流,一般有大离子流限制,用于保护高压电源。
  镀膜仪的一般故障处理:
  1.使用一段时间后溅射电流变小
  处理:对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换,后者被油蒸汽污染,通过无水乙醇进行清洁,等干了后才能够抽真空。
  2.使用一段时间后有过低的真空
  处理:对溅射室中或管道内是否有油进行检查,能够使用汽油进行清洗。
  3.溅射电流忽高忽低
  处理:阴极罩与靶的固定环有着过近的距离,将阴极罩逆时针旋转,对间距进行调整。
  4.有着过低的真空
  处理:将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。
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